・深さミクロンレベルの微細なキズや表面粗さを高精度に検出
・従来の限界を超えた多層・透明体の精密計測を実現
・顕微鏡検査を、最大100倍のスピードで高速化
4000/5000シリーズの特徴
⋙超高精度・高速3D計測
最高50nmの繰返し高さ解像度で精密計測を行います。最大スキャンレート10kHz以上、フルスキャンレンジでも2100～4500Hzの高速撮影で速度が要求されるインライン検査に対応します。
⋙光沢鏡面・透明体も計測可能
光沢鏡面、透明 / 半透明体、傾斜のついた表面、柔らかい多孔質表面など様々な表面タイプを組み合わせて計測します。
⋙多彩な計測/検査ツールを搭載
WEBブラウザベースの洗練されたインターフェースでマウスで簡単に操作できます。3Dスキャンの他、2D/3Dの各種計測、検査判定、外部機器入出力を搭載したスマートセンサーです。
⋙ワイヤーボンディング / ボールバンプの欠陥検査
表面に光沢のある細いワイヤーの高さ・位置を高精度に計測し、断線や曲がりを検査します。ボールバンプのコプラナリティも計測できます。
⋙シリコンウエハの外観検査
シリコンウエハの寸法計測、平坦度の計測、表面や端面の欠陥検出を行います。光沢の強いガラスのような表面や、エッジ部の斜面も高精度に計測します。
⋙BGA検査
Cチップに高密度に配置されたボールを撮影し、BGAのボールの高さ・位置・直径をサブミクロンの計測精度で正確に測定します。
⋙医療用マイクロ流路チップ検査
透明樹脂を精密加工したマイクロ流路の微細な凹凸を正確に計測します。樹脂プレートに挟まれた内部の流路構造も断層計測で撮影可能です。
⋙EVバッテリー 防爆弁・溶接シーム検査多彩な計測/検査ツールを搭載
EVバッテリーの溶接シームを3Dスキャンし検査します。光沢金属表面をサブミクロンレベルで計測し、センサー内蔵の計測ツールで欠陥検出を行います。
